AnisE(R)は、バルクシリコンの異方性エッチング専用に開発されたプロセスシミュレーターです。 AnisE(R)を使用して、片面もしくは両面のマスクについて異方性 ...

あらまし 複雑な3次元構造をもつマイクロマシンデバイスの加工プロセス設計を支援するツールとして，結晶. 異方性エッチング解析システムMICROCADを開発した．

本研究は任意のエッチング条件における球状単結晶シリコンの異方性エッチングで得られた形状をコンピュータシミュレーションしている。 引用文献 (0). 関連文献 (0). 図 ...

□ 高速性・安定性・精度を誇るグラフィカルなプロセスシミュレーター ... 異方性スパッタリングエッチング. 周辺物質も ... 半導体形状シミュレータParadiseWorld-2を紹介した ...

トランジスタ構造重視の従来の汎用プロセスシミュレータ ... るが,損 傷 も少な く異方性エッチングも可能である36, 37). ... エッチング計算のうち,理 想状態のラジカル と ...

FabSimでは、どのようなモデル、手法をDRIEと異方性ウェットエッチングで使用しますか？ 両方のエッチングタイプに対して、FabSimは、より高精度かつシミュレーション ...

このシステムは，被加工材であるシリコン単結晶の全方位のエッチング速度をデータベースとして備えることにより，任意の結晶方位をもつウェーハ，任意のマスクパターンに ...

エッチング速度の異方性 （TMAH）. Page 41. エッチング異方性データベースが市販シミュレータを支える. ○ Etch rate database “ODETTE”. ○ Etching Solution: KOH ...

エッチング方法の分類. エッチング加工と ... 工するエッチング特性を異方性エッチングと呼ぶ。 ... このようなプロセス設. 計を可能にするエッチングシミュレーションシステム ...

• 両面性ウェーハ・プロセス・シミュレーションに対応 ... セス・シミュレータ・モードそれぞれにしかない特長をご紹介します。 ... • 等方性、異方性、および指向性エッチング.