エアタービンでは回転部分に摩擦の. 影響が小さくなる空気軸受を採用していたが、ロータと磁石 ... ボールベアリングを導入した MEMS エアタービン発電機. 2. 1 電磁誘導式 ...

MEMS タービンに用いられる軸受機構には空気軸受. が採用されることが多い．空気 ... また MEMS エアター. ビンの軸受について空気軸受とボールベアリングの 2. 種類 ...

MEMS用縦型炉 VF-5100. VF-5100.jpg 〜Φ200mmのウェーハに対応し、生産ラインに合わせて処理枚数を 50〜150枚の間で選択可能。各種ご要望に応じ、応力制御も可能です。

MEMS機器は、集積回路業界で使用されていた製造技術をギア、ダイアフラム、接合ビームなどの機械部品作成に拡大しました。これらの機械要素の正確な測定は、低価格で高品質 ...

会議情報. OS1-5 MEMS静圧軸受の高性能化(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存). カン ピルチュン, 江刺 正喜, 田中 秀治. 著者情報. カン ピルチュン. 東北大・ ...

殺菌分析用検体保持プレート開発ー病原菌や細菌を特定する高精度な分析時に活躍ー 検体（血液、唾液、汗、尿など）から早く・正確に病原菌を特定でき、治療精度や救命率 ...

半導体/MEMS ... スピンドルには大きく分けて接触方式、非接触方式の2種あり前者はころがり軸受（ボールベアリングなど）によるもの、後者は期待軸受や流体軸受を使ったもので ...

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 普及版 （新材料・新素材シリーズ） [単行本], 電子デバイス･半導体デバイス.

MEMSスキャナは、MEMS（※）技術で製造された1枚ミラーのスキャンデバイスです。1軸スキャンタイプと2軸スキャンタイプの2種類があります。 動作として共振と非共振があり ...