シリコンウエハーの表面にあるキズやパーティクルを除去する工程です。研磨時の精度はミクロン単位で制御され、高品質な仕上がりを実現いたします。

再生ウエハとは、設備の確認やテスト用に、使用済みダミーウエハを研磨加工した、繰り返し使えるウエハです。 再生ウエハ. 微細な加工が必要な半導体製造においては、設備 ...

これにより、新品テストウエハーの製造に必要となるシリコン材料や電力使用量を大幅に減らすことに繋がり、地球環境への負荷を軽減することとなります。 リサイクル ...

Si ウェハ再生方法の開発. 原 宣宏＊・鈴木哲雄（理博）＊＊・井上秀敏 ... ラッピングは，一般的にはプライムシリコンウェハの. 製造工程で，単結晶インゴットから ...

九州電通のプラズマエッチングは、イオンダメージが少ない独自のプラズマドライプロセスを用いて、 ウェハー表面を忠実に再現するシリコンウェハ再生処理技術。

使用済モニター/ダミーウェハをお客様からお預かりして、膜除去、薄表研磨、仕上洗浄を行い、再使用出来る製品に仕上げてお客様に返却しております。

特徴2 ... - 独自の脱Cu技術により金属不純物に対して高い信頼性があります。 - 最小限の研磨量によりウェーハの再生回数増加が可能です。

再生ウェハとは ... 装置の状態やプロセス条件確認のために使用したシリコンウェハを もう一度加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。

2023/04/14 · 多結晶シリコンを溶融して純度の高い単結晶シリコンのインゴット（塊）を引き上げ、それを円盤状にスライスしたものを「シリコンウェーハ」※と呼ぶ。

期間: 1:55
投稿: 2022/08/02