2021/06/30 · MEMSのセンサとアクチュエータは2020年に前年比で11%成長を遂げたのち、2021年は16%成長と期待されている。長期的にもMEMS技術は、これまで大きく落ち込ん ...
本稿では，マイクロアクチュエータへの応用を指向した機. 能性材料である形状記憶合金と磁歪合金にフォーカスし，. MEMS デバイスへの応用について薄膜形成と微細加工プロ.
マイクロ電気機械システム (MEMS) は、マイクロポジショニング、マイクロ フィクスチャリング、マイクロ操作などのさまざまな応用向けに、複雑なエンジニアリング ...
MEMS magnetic actuator ... A MEMS magnetic actuator is a device that uses the microelectromechanical systems (MEMS) to convert an electric current into a ...
2020/09/14 · 今回，70℃付近で結晶構造相変化を起こす二酸化バナジウムを用いた酸化物MEMS技術によりV字ブリッジ構造をデザインし，弱いパルスレーザー光照射により，最大 ...
考察. 解析結果として得られた静電気力のオーダーが妥当かどうか考えます。 図3−1は櫛歯型の電極の一部に着目し、描いたものです。単位長さ(厚さ方向)当たりの電極間の静電 ...
稿では，提案した切り紙 MEMS アクチュエータの熱・機械特性を明らかにした． This paper presents a millimeter-stroke electrothermal kirigami MEMS actuator with low ...
Micromotor are used in micro-scale surgery, assembly, propulsion, and actuation among others. To provide large displacements, they are often composed by thin ...
MEMS electrothermal actuator ... A MEMS electrothermal actuator is a microelectromechanical device that typically generates motion by thermal expansion. It relies ...
液体封入変位増幅機構を有する大変位 MEMS アクチュエータアレイを用いた. 高機能触覚ディスプレイの研究開発（092103005）. Tactile Display Using Large Displacement ...