ヘリコン波によって生成されたプラズマ中の電子ビーム杉本尚哉*・小森彰田中雅慶***河合良(平成 5 年 5 月 31 日受理) Nonthermal Electron Tails in a Plasma Produced by Helicon Waves Masaya SUGIMOTO , Akio KOMORI , Masayoshi TANAKA and ...
小特集:ドライエッチング用プラズマ 6.電子ビーム励起プラズマ( EBEP )によるエッチング龍治真,伴雅人,森幸隆,東海正國(川崎 ... ヘリコン波励起プラズマ,誘導結合型プラズマ( ICP : Inductively coupled plasma )などの高周波,マイクロ波を使ったプラズマ源が ...
... プラズマの比較負電荷キャリア正電荷キャリア気体電子(負イオン)正イオン 107 ,半導体金属電子電子キャリア密度( cm )正孔 ... 生成と高電界における静特性通常の形または p 形半導体もまた,そのまま平衡状態で一成分系の補償されないプラズマであるとみなす ...
... 生成物推算法”高温学会誌, 20 ( 3 ) 113 ( 1994 )【そ】園田義人 SONODA ... 波の計測法の開発" Identification and Role of Low - Frequency Microinstubility in RFC - XX- M Studied by the Fraunhofer Diffraction ... プラズマ理工学【せ】【た】
この教科書は、これからプラズマ物理および核融合を勉強しようとする専門課程の大学生、大学院生を念頭において執筆した。そしてプラズマ物理を理解するのに必要な基礎的理 ...
... プラズマ中における高速イオンのエネルギー損失計測 E134 空間分解能を持つ新 ... 電子温度の測定○道本圭司,松浦寛人,中田真吾(大阪府) E137 LIF を用いたコンパクトトーラスプラズマの計測(東工大原子炉) D116 イオンビーム ... ヘリコン波水素 ...
ビジュアルでわかりやすい新しい教科書
最新の装置技術を含めた実際の応用例を解説
... された。開発用途では一千二十四ピン対応六百六十なといった化された。メモリー ... 電子デバイス営業本部〒160 東京都新宿区西新宿 1-25 (木村屋ビルタ) ( 03 ) 5386 ... 中でされているの位相シフトマスク技術と変形明技術である。いずれも光の ...